请输出一份碳化硅衬底研发项目进度汇报

当然,我可以为你提供一个碳化硅衬底研发项目进度汇报的模板。这只是一个示例,你可以根据自己的项目具体情况进行修改和定制:

项目名称:碳化硅衬底研发项目

项目周期:2023-1-1至2024-12-31

项目负责人:张三

项目成员:李四、王五、赵六

项目目标:

1. 研发6英寸高纯半绝缘碳化硅衬底。
2. 实现衬底缺陷密度小于1个/cm²。
3. 提高衬底良品率，达到9%以上。

项目进展:

1. 核心技术攻关:

   • 研究了碳化硅晶体生长工艺,找出影响晶体质量的关键因素。
   • 开发了新型的籽晶和坩埚材料,提高了晶体生长速度。

2. 设备开发:

   • 定制了6英寸碳化硅晶体生长炉,已开始投入使用。
   • 开发了在线缺陷检测设备,实现了晶体生长过程的实时监控。

3. 产品研发:

   • 完成了6英寸半绝缘碳化硅衬底的样品制备。
   • 衬底缺陷密度降低至1个/cm²以下。

4. 质量控制:

   • 建立了衬底表面和电学特性的检测标准。
   • 通过优化生产工艺，衬底良品率提升至95%。

5. 市场开拓:

   • 与国内外10家碳化硅功率器件制造商建立了合作关系。
   • 已完成500片衬底的销售，并收到积极反馈。

存在问题及解决措施:

1. 生长炉加热体寿命不足,需定期更换。计划测试新材料，提高其使用寿命。
2. 缺陷密度偶有波动，需进一步稳定生产过程。将增加定期的质量控制点以监控关键工艺参数。

下一步工作计划:

1. 扩大生产规模，提高6英寸碳化硅衬底的产能。
2. 开展8英寸碳化硅衬底的研发工作。
3. 进一步拓展国内外市场，建立更多客户关系。

项目里程碑:

1. 完成6英寸碳化硅衬底研发 - 2023-6-30
2. 实现6英寸衬底量产 - 2023-12-31
3. 开始8英寸衬底研发 - 2024-1-1

项目预算： 总预算:1000万元 已使用:800万元 剩余:200万元

附件:

1. 项目详细进度表
2. 项目里程碑完成情况
3. 项目预算使用情况

备注: 项目组成员需定期汇报工作进展，确保按时完成项目目标。如有任何变更，请及时通知项目负责人。

请根据你的项目实际情况,修改以上模板中的名称、目标、进展等内容。如果需要进一步细化或有其他具体问题,欢迎继续提问。