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关于PECVD-Si3N4薄膜的下列说法哪个对?
发布于 2021-09-10 05:08:57
A.含H;
B.抗腐蚀性好;
C.台阶覆盖性较好;
D.是中温工艺;
E.常作为芯片的保护膜;
F.常作为腐蚀掩膜。
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青云
2021-09-10
生命之长短殊不重要,只要你活得快乐,在有生之年做些有意义的事,便已足够。
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蓝色多瑙河
这家伙很懒,什么也没写!
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