为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极,多采用下列哪种工艺方法:

发布于 2021-09-10 05:09:01
A.磁控溅射
B.反应溅射
C.电阻蒸镀
D.LPCVD
E.射频溅射
F.PECVD

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