下列有关曝光的描述正确的是:

发布于 2021-09-10 05:09:10
A.确定图案的精确形状和尺寸;
B.步进曝光机一次就可以完成曝光;
C.使受光照射区域的光刻胶膜发生化学反应形成潜影;
D.需要进行准确对版后再曝光,才能保证各次光刻的套准精度。

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