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基板映射追溯系统技术说明

发布于 2023-06-01 10:41:17

基板映射追溯系统是一种用于对半导体晶圆制造过程进行质量追溯和跟踪的软件系统。该系统可以追溯到单个晶圆或多个晶圆在生产过程中涉及到的所有环节,包括原材料采购、制造过程、装配生产和测试等环节。

该系统的技术特点如下:

  1. 数据采集:系统通过集成多种数据采集设备,例如晶圆追踪感应器、条形码扫描枪等,从不同环节获取到的各种数据,例如晶圆生产序列号、工艺参数、测试数据等信息,直接存储在系统的数据库中。
  2. 数据分析:系统将从多源数据采集到的数据集成到一个统一的平台中,实现对半导体晶圆生产过程全面追溯和分析,能够实时地对整个制造过程进行监控,并准确地统计和记录每个晶圆的精细数据。
  3. 数据查询:用户可以通过系统提供的WEB界面进行数据查询和分析,快速获取到所需的制造过程与晶圆数据的详细信息,并能根据自身需求灵活地查询、筛选、排序和比对数据。
  4. 数据安全:系统采用灵活的权限管理和完善的加密技术,保证数据传输和存储时的安全性和私密性。
  5. 数据展示:系统具有友好的界面和多维数据可视化分析工具,以直观、清晰、易懂的方式呈现数据分析结果、统计图表等数据信息,在操作使用过程中提升用户体验。
  6. 日志记录:系统具有完善的日志记录功能,可以记录用户所有的操作过程及其时刻,便于后期管理和追溯。

基板映射追溯系统在晶圆制造行业具有重要应用,它可以精确地追踪、监控和管理各个制造环节中的信息,从而提高产品制造质量和可靠性,减少人为干扰等问题,为企业生产和质量控制提供有效手段。

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