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基板ID防呆控制软件系统技术说明

发布于 2023-06-01 10:42:24

基板ID防呆控制软件系统是一种用于防止半导体生产过程中基板ID重复的控制软件系统。该系统可以通过控制基板在所有生产流程中的ID,来实现对半导体晶圆生产过程的防呆和跟踪。

该系统的技术特点如下:

  1. ID生成:系统在生产流程开始前为每个基板生成唯一的ID,包括数字和字母等类型。这些ID可以在制造过程的各个环节中标识并追踪基板的生产情况。
  2. ID检测:系统采用多种检测方式进行ID的验证和匹配。例如,在生产流程中的手持式扫描设备、机器视觉系统等设备上进行自动读取,以确保ID的准确性和一致性。
  3. ID记录:系统可以实时地存储基板ID的生成、录入、检测和使用等过程的详细数据,并且能够对这些数据进行查询、分析和管理。这些数据包括生产日期、批号、工艺参数和测试数据等信息。
  4. ID追溯:系统可以追溯基板在整个生产流程中的使用情况,包括每个工序中ID的使用记录和基板的加工过程,以及最终成品的性能和质量数据等。
  5. 多维分析:系统具有多维分析功能,可以对生产数据进行二次加工和分析,包括ID重复率、工序有效性、生产效率和制造质量等指标。
  6. 实时监控:系统可以实时监控基板生产流程中ID数据的完整性、准确性和一致性。当发现异常情况时,系统能够及时发出警报,并对异常基板进行追踪和管理,避免不良产品的投入使用。

基板ID防呆控制软件系统在半导体制造行业具有广泛应用,它能够有效地防止生产过程中基板ID的重复,提高生产流程的效率和准确性,同时还为产品质量控制和追溯提供了可靠的手段。

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