VPE制备n+/p-Si,结果pn结进入了衬底,这是什么原因造成的:

发布于 2021-09-10 05:08:24
A.自掺杂效应
B.互扩散效应
C.衬底表面没清洗干净的缘故。
D.掺杂气体不纯

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